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Croissance et propriétés structurales de couches minces épitaxiales de Pb(ZrxTi1-x)O3 et d'hétéro-structures Pb(ZrxTi1-x)O3-oxydes métalliques

Authors
Published in Le vide: science, technique et applications. 1997, no. 283, p. 48-60
Abstract Nous rapportons la croissance de structures épitaxiales composées de perovskites ferroélectriques du type Pb(Zr, Ti)O₃ (PZT) et de différents oxydes supraconducteurs ou apparentés aux supraconducteurs à haute température critique. Des couches épitaxiales de PZT ont été obtenues par pulvérisation cathodique hors-axe sur des substrats de SrTiO₃ de même que des hétéro-structures SrRuO₃-PZT et DyBa₂Cu₃O₇-PZT. Les analyses des structures, par rayons-x, AFM et TEM, révèlent des qualités structurales excellentes et un état de surface remarquable pour le PZT, avec une rugosité moyenne de 2 Å pour des surfaces de 1 μm x 1 μm et pour des films de 0.1 μm d'épaisseur déposés sur SrTiO₃. Nous présentons également les résultats sur la croissance de ces oxydes sur silicium, obtenue grâce à l'utilisation d'une couche tampon de zircone stabilisée à l'yttrium. Les propriétés ferroélectriques mesurées de manière standard donnent un champ coercitif de 70-100 kV/cm et une polarisation rémanente de 10-20 μC/cm².
Keywords 77.84.DyNiobates PZTTitanates PZTTantalates PZTCéramiques PZTComposants diélectrlquesComposants ferroélectriquesComposants piézoélectriques
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Structures
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TYBELL, Per Thomas Martin et al. Croissance et propriétés structurales de couches minces épitaxiales de Pb(ZrxTi1-x)O3 et d'hétéro-structures Pb(ZrxTi1-x)O3-oxydes métalliques. In: Le vide: science, technique et applications, 1997, n° 283, p. 48-60. https://archive-ouverte.unige.ch/unige:112836

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Deposited on : 2019-01-11

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