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Croissance et propriétés structurales de couches minces épitaxiales de Pb(ZrxTi1-x)O3 et d'hétéro-structures Pb(ZrxTi1-x)O3-oxydes métalliques

Authors
Published in Le vide: science, technique et applications. 1997, no. 283, p. 48-60
Abstract Nous rapportons la croissance de structures épitaxiales composées de perovskites ferroélectriques du type Pb(Zr, Ti)O₃ (PZT) et de différents oxydes supraconducteurs ou apparentés aux supraconducteurs à haute température critique. Des couches épitaxiales de PZT ont été obtenues par pulvérisation cathodique hors-axe sur des substrats de SrTiO₃ de même que des hétéro-structures SrRuO₃-PZT et DyBa₂Cu₃O₇-PZT. Les analyses des structures, par rayons-x, AFM et TEM, révèlent des qualités structurales excellentes et un état de surface remarquable pour le PZT, avec une rugosité moyenne de 2 Å pour des surfaces de 1 μm x 1 μm et pour des films de 0.1 μm d'épaisseur déposés sur SrTiO₃. Nous présentons également les résultats sur la croissance de ces oxydes sur silicium, obtenue grâce à l'utilisation d'une couche tampon de zircone stabilisée à l'yttrium. Les propriétés ferroélectriques mesurées de manière standard donnent un champ coercitif de 70-100 kV/cm et une polarisation rémanente de 10-20 μC/cm².
Keywords 77.84.DyNiobates PZTTitanates PZTTantalates PZTCéramiques PZTComposants diélectrlquesComposants ferroélectriquesComposants piézoélectriques
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Article (Published version) (4.6 MB) - document accessible for UNIGE members only Limited access to UNIGE
Structures
Research group Groupe Triscone
Citation
(ISO format)
TYBELL, Per Thomas Martin et al. Croissance et propriétés structurales de couches minces épitaxiales de Pb(ZrxTi1-x)O3 et d'hétéro-structures Pb(ZrxTi1-x)O3-oxydes métalliques. In: Le vide: science, technique et applications, 1997, n° 283, p. 48-60. https://archive-ouverte.unige.ch/unige:112836

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Deposited on : 2019-01-11

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