Croissance et propriétés structurales de couches minces épitaxiales de Pb(ZrxTi1-x)O3 et d'hétéro-structures Pb(ZrxTi1-x)O3-oxydes métalliques

Article Article scientifique Article Croissance et propriétés structurales de couches minces épitaxiales de Pb(ZrxTi1-x)O3 et d'hétéro-structures Pb(ZrxTi1-x)O3-oxydes métalliques fre 1997 author Tybell Per Thomas Martin 102441 author Antognazza Louis 23431 author Ahn Charles 114496 author Frauchiger Laurent 43576 author Decroux Michel André 25593 author Fischer Oystein 25258 author Triscone Jean-Marc 21933 48-60 1266-0167 Nous rapportons la croissance de structures épitaxiales composées de perovskites ferroélectriques du type Pb(Zr, Ti)O₃ (PZT) et de différents oxydes supraconducteurs ou apparentés aux supraconducteurs à haute température critique. Des couches épitaxiales de PZT ont été obtenues par pulvérisation cathodique hors-axe sur des substrats de SrTiO₃ de même que des hétéro-structures SrRuO₃-PZT et DyBa₂Cu₃O₇-PZT. Les analyses des structures, par rayons-x, AFM et TEM, révèlent des qualités structurales excellentes et un état de surface remarquable pour le PZT, avec une rugosité moyenne de 2 Å pour des surfaces de 1 μm x 1 μm et pour des films de 0.1 μm d'épaisseur déposés sur SrTiO₃. Nous présentons également les résultats sur la croissance de ces oxydes sur silicium, obtenue grâce à l'utilisation d'une couche tampon de zircone stabilisée à l'yttrium. Les propriétés ferroélectriques mesurées de manière standard donnent un champ coercitif de 70-100 kV/cm et une polarisation rémanente de 10-20 μC/cm². 77.84.Dy Niobates PZT Titanates PZT Tantalates PZT Céramiques PZT Composants diélectrlques Composants ferroélectriques Composants piézoélectriques Dewey 500.2 33 Département de physique de la matière quantique 131 false 784 Groupe Triscone Le vide: science, technique et applications 283 bca7e925-cbf7-4761-9e96-2f40b4bdff8f Article (Published version) Restricted Tybell_Vide_1997283048.pdf 4805075 application/pdf restrictedAccess Faculté des sciences / Section de physique / Département de physique de la matière quantique

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Croissance et propriétés structurales de couches minces épitaxiales de Pb(Zr_xTi_1-x)O₃ et d'hétéro-structures Pb(Zr_xTi_1-x)O₃-oxydes métalliques	Le vide: science, technique et applications			1997	363	1

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Frauchiger, Laurent